AX-7670-0190-47768-AMAT-HDP-CVD Генератор реакционного газа

AX- 767001900/47776 — реактивный газогенератор с высокой точностью и высокой чистотой, разработанный специально для производства химического газового отложения (CVD) в полупроводниковой промышленности.

Он может генерировать различные реакционные газы точно так, чтобы обеспечить стабильный газообразный источник для тонкопленового отложения.

Основная функция
Смесь газов: смешивание нескольких газов с высокой точностью, формирование необходимых реакционных газов.
Контроль трафика: точный контроль потока каждого газа, обеспечивающий точность его распределения.
Контроль давления: стабилизировать давление выходного газа и удовлетворить технологические требования.
Контроль чистоты: обеспечение чистоты выходного газа и избежание воздействия примесей на массу мембраны.
Охрана: обеспечение безопасности с различными функциями безопасности, такими как защита от перенапряжения, газовая сигнализация и т.д.

AX-7670-0190-47768-AMAT-HDP-CVD

Камера реакции CVD и система подачи газа
Ввод газа: высокочистые источники газа (такие как кремний, аммиак и т.
Управление потоком: высокоточный контроллер массы потока (MFC) с точным контролем потока каждого газа.
Смесь: различные газы полностью смешиваются в микшере, формируя необходимый для этого газ.
Регуляторы давления стабилизируют давление на выходном газе.
Вывод: газ после смешивания передается через трубопровод в реакционную камеру CVD.
Прикладная область
Производство полупроводников: используется для производства полупроводниковых устройств, таких как интегральные схемы, сенсоры и т.д.
Тонкопленочная солнечная батарея: используется для производства тонкопленочных солнечных батарей.
Производство светодиодов: используется для изготовления чипов светодиодов.
Характеристика продукции
Высокая точность: способность точно регулировать расход газа и распределение, обеспечивая однородность и редукцию мембраны.
Высокая стабильность: с хорошей стабильностью, способная стабилизироваться на длительное время.
Модульный дизайн: модульный дизайн, легко поддерживаемый и модернизированный.
Безопасность надежна: имеет несколько функций безопасности, обеспечивающих безопасность оборудования и персонала.
Технический показатель
Параметрическое классическое значение
Диапазон потока 0-1000 SCCM
Диапазон давления 0-1000 миллитомов
Вид газа SiH4, NH3, O2, H2 и т.д
Чистый на 99,999%