Поскольку первая высокотехнологичная система на EUV фотогравюра была официально поставлена intel в конце прошлого года, новая линия продукции ASML, похоже, вот-вот начнет новый раунд управления продвинутым производством кристаллических окружков. Однако, как и в других передовых технологиях, ASML уже начала планирование новой системы Hyper-NA EUV. От-на до Hyper-на описыва оптик рог разрешен кодекс уравнен райлл (CD = k1   • λ / на), CD для ключев размер, кличк лин широк, представля литограф технологическ из точност обработк графическ изображен. Чтобы увеличить эту точность, нужно поднять руки только с к1 (коэффициент к1), лямбда (длина волны источника света) и на (численная пористость). Один из них — коэффициент, определяемый несколькими факторами в фотогравировании, но его физический предел был определен в 0,25, так что выполнимые планы по повышению точности ограничены меньшими световыми частотами и более высокими численными отверстиями. В 2022 году ASML анонсировала новое поколение европейской фотографической системы, основанной на 0,55 NA, под кодовым названием EXE:5000, первый чип, созданный машинами EXE:5000, будет основан на 2nm технологических узлах технологии intel. Тем не менее, становится все труднее противостоять продолжению закона мура, в то время как системы, даже 0,55 на, вскоре становятся недостаточно заметными, и многие производители уже начали рассматривать возможность многократного воздействия, однако многократная экспозиция является менее качественной, но дорогостоящей программой. Для того чтобы решить эту проблему, ASML/ASML вновь анонсировала дорожную карту следующего поколения евс на конференции ITF World 2024, проводимой imec. Начиная с 2028 года, ASML будет разрабатывать системы Hyper-NA с 0,75 ННК, которые, как ожидается, будут поставлены к 2030 году, и ASML может даже продолжать двигаться на 0,85 ННК после 2030 года. Несмотря на то, что ASML утверждает, что Hyper-NA является обязательным маршрутом для будущей эвф-машины, европейские машины 0,75 ННК в настоящее время находятся на стадии исследований жизнеспособности, а связанные с этим исследования, системы и материалы остаются незавершёнными. Первая проблема, с которой сталкивается ASML для более высокой NA, это оптическая система. Направление поляризации усиливает влияние на свет выше 0,55 и даже нейтрализует свет, исходящий от источника света. Для этого необходимо добавить поляризованные линзы в высокие NA-системы, но сами линзы блокируют/поглощают свет, тем самым снижая эффективность системы и увеличивая ее стоимость. Более важно то, что в настоящее время ev-оптическая система ASML поставляется исключительно zeiss, поскольку только у них есть очень плоские отражательные линзы EUV. Несмотря на то, что линзы для более высокой NA еще не были созданы, zeiss заявила, что они могут оптически решить эту проблему. Еще одной проблемой, стоящей перед системой, является фотогравированный клей, используемый в настоящее время для 0,55 на EUV фотогравирование системы, хотя и не достигающий уровня, необходимого для ее чувствительности в 0,33 ННК, и, таким образом, требуемая доза фотогравированного клея оказывает большее воздействие на эффективность производства. В то время как при 0,75 ННК, вероятно, потребуется более тонкий фотогравий, который также создаст более высокую проблему для материала, из которого сделан фотогравий. Более того, трехмерный эффект фотогравированного клея также усилится, и структурный дизайн самого фотографа должен быть изменен. Знайте, что для ASML не все будет хорошо после того, как будут созданы системы с более высокой степенностью нк, а также им придется работать с промышленными партнерами, чтобы сохранить производство кристаллических кружков на относительно рациональном и эффективном уровне. Наконец, проблема затрат заключается в Том, что цена 0,33 на EUV составляет около 120 миллионов долларов, в то время как цена на 0,55 на EUV подскочила до 300-400 миллионов долларов. ASML CTO Martin Van den Brink заявил, что если цены на Hyper-NA растут в той же степени, что и на 0,55 NA, то даже для таких кристаллических блоков, как digital electric, они экономически невозможны.

489-P5-HI-A20-T-H